FSM2-NAF102-A153B，F(xiàn)SM2-NAF101-S083B
日本CKD流量傳感器?控制器
日本CKD氣體用小型流量傳感器Rapiflow（R）
雙畫面雙色顯示氣體用小型流量傳感器。備有顯示一體型、顯示分離型2種產(chǎn)品類型。
： 保護氣體，檢查，理化分析設備
FSM2-A 顯示分離型 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-N 顯示一體型（開關(guān)輸出NPN 2點、模擬輸出1點） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-P 顯示一體型（開關(guān)輸出PNP 2點、模擬輸出1點） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
■大流量、小體積】
流量范圍：0.5～1000?/min
500、1000L/min型實現(xiàn)了比原有體積減少30%的小型化。
■無需直管部位】
內(nèi)置新的整流機構(gòu)，上游側(cè)和下游側(cè)均無需直管部位，可自由設置。
■雙方向測量】
顯示一體型、雙向型可任意設定流向進行測量。
■高速響應】
采用經(jīng)過硅微加工的白金傳感器芯片，實現(xiàn)50m/sec的響應速度。
■潔凈規(guī)格】
標配有P70（防止發(fā)塵）、P80（禁油規(guī)格）產(chǎn)品。
適合半導體、液晶制造域的用途。
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF501-A153
FSM2-NVF101-S081
FSM2-NVF100-H04
FSM2-PVF500-H06
小型流量傳感器 Rapiflow
顯示一體型/顯示分離型 FSM2 Series
● 樹脂閥體型（流量范圍：500m?/min～200?/min）
● 鋁閥體型（流量范圍：500?/min、1000?/min）
● 不銹鋼閥體型（流量范圍：500m?/min～200?/min）
使用壓力0.7MPa
低使用壓力-0.09MPa
耐壓1MPa
使用環(huán)境溫度·濕度0～50°C，90%RH以下
流體溫度0～50°C（不得結(jié)露）
使用范圍單向型：3～100％F.S.，雙向型：-100～-3％F.S.，3～100％F.S.
直線性（顯示·模擬輸出） ±3%F.S.以內(nèi)（2次側(cè)大氣開放）
壓力特性±5%F.S.以內(nèi)（-0.09～0.7MPa，2次側(cè)大氣開放基準）
溫度特性±0.2%F.S./°C
以內(nèi)（15～35°C、25°C基準）
重復性±1%F.S.以內(nèi)
消耗電流 注10 50mA以下
導線φ3.7 相當于AWG26×5芯（接插件連接），絕緣體外徑φ1.0
具備功能流量顯示、流量顯示峰值保持、開關(guān)輸出
模擬輸出 等安 裝安裝方式縱、橫自由
導入直管部位不需要
防護等級IEC標準 相當于IP40
保護回路 注11 電源逆接保護、開關(guān)輸出逆接保護、開關(guān)輸出負荷短路保護
FSM2-NAF102-A153B，F(xiàn)SM2-NAF101-S083B